18. September 2012 | Nanotechnologie

IMR in China entwickelt Kohlenstoff-Nanoröhren und Graphen mit AIXTRON Anlage

Das Institute of Metal Research (IMR) an der Chinese Academy of Sciences hat im ersten Quartal 2012 eine BM Pro PECVD-Anlage in einer 4-Zoll-Konfiguration zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT) und Graphen bestellt.

Nach der Auslieferung im dritten Quartal 2012 wird ein Serviceteam von AIXTRON China Ltd. die Anlage im modernen Reinraum installieren und in Betrieb nehmen.

„Die neue Anlage wird unsere Möglichkeiten der Synthese von Kohlenstoff-Nanoröhren mit kontrollierter Leitfähigkeit und Chiralität entscheidend erweitern", so Prof. Cheng, der das Advanced Carbon Lab am Institut leitet. „Wir sehen der Auslieferung daher mit großer Erwartung entgegen. Die Technologie von AIXTRON hat aufgrund ihrer Stabilität, Flexibilität und Prozessfähigkeiten branchenweit einen ausgezeichneten Namen. Wir sind daher zuversichtlich, dass wir mit Hilfe der neuen Anlage CNT und Graphen von hoher Qualität und mit hervorragenden strukturellen Eigenschaften und guter Reproduzierbarkeit herstellen können. Die Anlage ist darüber hinaus leicht zu bedienen und zu warten. AIXTRON’s Serviceteam wird uns außerdem hier vor Ort in allen Fragen zu Prozess- und Anlagentechnologie rund um die Uhr zur Verfügung stehen."

Die BM-Anlage von AIXTRON ist die optimale Technologie für die Herstellung von CNT- und Graphen-basierten Materialien und kann sowohl für thermische CVD- als auch für plasmagestützte Prozesse angewendet werden. Das ist insbesondere für die Kontrolle der CNT-Strukturen von großer Bedeutung, weil damit praktisch alle CNT- und Graphen-Typen und -Morphologien hergestellt werden können.
„Unsere BM-Anlage ist das System der Wahl, um komplexe CNT-Felder und Graphenfilme stabil und reproduzierbar zu entwickeln", erklärt AIXTRON’s COO Dr. Bernd Schulte. „Wir erhalten viele positive Rückmeldungen von unseren Kunden, die mit der Technologie eine große Bandbreite von Anwendungen abdecken können. Ich bin sicher, dass auch das IMR sehr schnell von den Vorzügen der BM Pro-Anlage profitieren wird."

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®

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