TECHNOLOGIEN

SiC Warmwand-Planeten-Prinzip (SiC-CVD)

Die Warmwand-CVD-Anlagen werden zur Herstellung von Halbleitern mit großer elektronischer Bandlücke (engl., wide-band gap semiconductors), wie z.B. Siliziumkarbid (SiC) eingesetzt. Denn ihre Prozesskammern liefern die für WBG-Halbleiter benötigten sehr hohen Abscheidetemperaturen. Bei diesen Anlagen ist das Konzept des Planetenreaktors mit dem Hochtemperaturprozess verknüpft. Mit einer Konfiguration von bis zu 5x200 mm Wafern gehören diese Anlagen zu den größten kommerziellen CVD-Produktionsanlagen für Siliziumkarbid (SiC) weltweit. Neben einer unübertroffenen Produktionskapazität gehört die effektive Nutzung der Ausgangsmaterialien zu den entscheidenden Vorteilen.

Die Zukunft fährt mit Siliziumkarbid

Siliziumkarbid (SiC) ist ein Halbleitermaterial, das sich ausgezeichnet für elektrische Anwendungen bei hohen Leistungen und Frequenzen eignet. Schnelle, verlustfreie SiC-Schottky-Dioden sorgen für effiziente und kompakte Lösungen für Schaltnetzteile, die bereits in Computer-Servern eingesetzt werden. Leistungsgleichrichtermodule, die mithilfe von SiC-Gleichrichtern und Transistoren leichter und kompakter ausgeführt werden können, zeigen ein vielversprechendes Potenzial für den zukünftigen Einsatz in Hybrid- oder Elektrofahrzeugen.

Bei dieser Anlage ist der horizontale Warmwand-Reaktor mit der Mehrfachrotation der Substratträger, der sogenannten Gas Foil Rotation (GFR), kombiniert. Während des Beschichtungsprozesses werden durch die Rotation der Substratträger sehr homogene Schichten erzielt, die für moderne Hochleistungsbauelemente benötigt werden. Mit dem patentierten Transfersystem kann der Reaktor manuell mit den Substratträgern be- und entladen werden. Auf Wunsch bietet eine zweite Beschichtungskammer mehr Flexibilität und einen höheren Durchsatz der Anlage.

Sales

Alan Tai
Taiwan/Singapore

Tel: +886 3 571 2678 ext. 101

Christof Sommerhalter
USA

Tel: +1 669-228 ext. 3893

Frank Schulte
Europe

Tel: +49 (2407) 9030 -768

Hisatoshi Hagiwara
Japan

Tel: +81 3-5781-0935 ext. 510

Nam Kyu Lee
South Korea

Tel: +82 31 371 ext. 3011

Wei (William) Song
China

Tel: +86 2164453226 ext. 101

Produkte

Vincent Meric
Vice President Marketing

Tel: +49 (0) 2407 9030-9022

Service

AIXTRON SE (Headquarters)

Tel: +49 (2407) 9030-0

AIXTRON SE (R&D Center)

Tel: +49 (2407) 9030-222

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

Tel: +49 (2407) 9030-999

AIXTRON Ltd (UK)

Tel: +44 (1223) 519-444

AIXTRON K.K. (Japan)

Tel: +81 3 5781 0931

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Tel: +82 (31) 371-3000

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Tel: +886 3 571 2678

AIXTRON Inc. (USA)

Tel: +1 (669) 228-3759

Ersatzteile

Satoshi Fujii
Japan

Tel: +81 3 5781 0932

Brian Chuang
Taiwan/Singapore

Tel: +886 3 5712 678 Durchwahl 250

Ersatzteile Europa
Europe

Tel: +49 2407 9030-844

Chanyoung Han
South Korea

Tel: +82 31 371 3023

Colin Wong
USA

Tel: +1 669 228-3759

Karriere 

Laura Preinich
Recruiter

Tel: +49 (2407) 9030 0

Nachhaltigkeit

Christoph Pütz
Senior Manager ESG & Sustainability

Tel: +49 (0) 2407 9030-5968

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Guido Pickert
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030 3665

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-444

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President Advanced Technologies

Tel: +49 (2407) 9030-335

Sales

Alan Tai
Taiwan/Singapore

E-Mail senden

Christof Sommerhalter
USA

E-Mail senden

Frank Schulte
Europe

E-Mail senden

Hisatoshi Hagiwara
Japan

E-Mail senden

Nam Kyu Lee
South Korea

E-Mail senden

Wei (William) Song
China

E-Mail senden

Produkte

Vincent Meric
Vice President Marketing

E-Mail senden

Ersatzteile

Yun Ling
China

E-Mail senden

Satoshi Fujii
Japan

E-Mail senden

Brian Chuang
Taiwan/Singapore

E-Mail senden

Ersatzteile Europa
Europe

E-Mail senden

Chanyoung Han
South Korea

E-Mail senden

Colin Wong
USA

E-Mail senden

Karriere 

Laura Preinich
Recruiter

Nachhaltigkeit 

Christoph Pütz
Senior Manager ESG & Sustainability

E-Mail senden

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

E-Mail senden

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Guido Pickert
Vice President

E-Mail senden

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President Advanced Technologies

E-Mail senden

Service

AIXTRON SE (Headquarters)

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

AIXTRON Europe

AIXTRON Ltd (UK)

AIXTRON K.K. (Japan)

AIXTRON Korea Co., Ltd.

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

AIXTRON Inc. (USA)

Produkte

Vincent Meric
Vice President Marketing

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

Tom Lankes
Talent Acquisition Expert

Nachhaltigkeit 

Christoph Pütz
Senior Manager ESG & Sustainability

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President Advanced Technologies

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Guido Pickert
Vice President