DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER

AIX 2800G4-TM (IC2)

“Die beste Anlage für die Massenproduktion von GaAs/InP-basierten Optoelektronik- und RF-Anwendungen“

Vorteile

  • Beste Kontrolle der Abscheidung - auf Wafer-Ebene
  • Niedrigste Partikelanzahl
  • Höchste Produktausbeute
  • Niedrigste Produktionskosten

Produkteigenschaften

  • Einzigartiger horizontal durchströmter Planetenreaktor - integriert beste Gleichmäßigkeit und höchsten Wirkungsgrad
  • Prozesskammer aus Graphit – sehr geringe Partikelanzahl und höchste Wiederholungsleistung
  • Dreifache Prozessgaseinspritzung - Maximale Ausbeuteoptimierung
  • Einzelrotation der Wafer – Kombination der Produktivität einer Mehrscheiben-Prozesskammer mit der Abstimmbarkeit einer einzelnen Prozesskammer
  • Automatisierte Satellitenbeladung bei hohen Temperaturen - Höchster Durchsatz, niedrigste Partikelanzahl

Konfigurationen

  • 15x4 Zoll
  • 8x6 Zoll

AIX 2800G4-TM (IC2)

Ihr Ansprechpartner

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Dr. Jens Voigt

Director Product Management

Sales

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Tel: +886 3 571 2678 ext. 101

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USA

Tel: +1 669-228 ext. 3893

Frank Schulte
Europe

Tel: +49 (2407) 9030 -768

Hisatoshi Hagiwara
Japan

Tel: +81 3-5781-0935 ext. 510

Nam Kyu Lee
South Korea

Tel: +82 31 371 ext. 3011

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China

Tel: +86 2164453226 ext. 101

Produkte

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Tel: +49 (2407) 9030-0

AIXTRON SE (R&D Center)

Tel: +49 (2407) 9030-222

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

Tel: +49 (2407) 9030-999

AIXTRON Ltd (UK)

Tel: +44 (1223) 519-444

AIXTRON K.K. (Japan)

Tel: +81 3 5781 0931

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Tel: +82 (31) 371-3000

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Tel: +886 3 571 2678

AIXTRON Inc. (USA)

Tel: +1 (669) 228-3759

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Ersatzteile

Tel: +86 21 64453226 Durchwahl: 207

Herr Satoshi Fujii
Ersatzteile

Tel: +81 3 5781 0932

Herr Brian Chuang
Ersatzteile

Tel: +886 3 5712 678 Durchwahl 250

Ersatzteile Europa
Ersatzteile

Herr Chanyoung Han
Ersatzteile

Tel: +82 31 371 3023

Herr Colin Wong
Ersatzteile

Tel: +1 669 228-3759

Karriere 

Laura Preinich
Recruiter

Tel: +49 (2407) 9030 0

Nachhaltigkeit

Rainer Goeckel
CSR Manager

Tel: +49 (0) 2407 9030-1830

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

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Tel: +49 (2407) 9030 3665

Unternehmen & Investor Relations

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Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-444

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-335

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