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TECHNOLOGIEN
Die MOCVD-Massenproduktionsanlagen basieren auf dem Planetenkonzept (Planetary Reactor), das von AIXTRON stetig weiterentwickelt wird. Die Reaktoren können mehrere Substrate mit Durchmessern von 2 bis 8-Zoll bzw. 200mm aufnehmen.
Der Planetary Reactor ® basiert auf dem Prinzip eines horizontalen Laminarflussreaktors. Dieses gewährleistet schärfste Übergänge zwischen verschiedenen Materialien und eine unvergleichliche Steuerung der Abscheideraten im Bereich einzelner Atomlagen. Die Kombination dieses Prinzips mit der Mehrfachrotation der Substratträger stellt sicher, dass die Abscheidung mit exzellenter Homogenität bezüglich Schichtdicke, Zusammensetzung und Dotierung erfolgt. Zudem gewährleistet der spezielle Reaktoreinlass, der eine Separation einiger Gase erlaubt, einen nach außen gleichmäßigen radialen Fluss mit einer optimal einstellbaren Verteilung.
Die Reaktoren sind induktiv geheizt und mit verschiedensten In-Situ-Sensoren ausrüstbar.
Alan Tai
Taiwan/Singapore
Christof Sommerhalter
USA
Frank Schulte
Europe
Hisatoshi Hagiwara
Japan
Nam Kyu Lee
South Korea
Wei (William) Song
China
Vincent Meric
Direktor Marketing
AIXTRON SE (Headquarters)
Tel: +49 (2407) 9030-0AIXTRON SE (R&D Center)
Tel: +49 (2407) 9030-222AIXTRON 24/7 Technical Support Line
Tel: +49 (2407) 9030-999AIXTRON Europe
Tel: +49 (2407) 9030-828AIXTRON Ltd (UK)
Tel: +44 (1223) 519-444AIXTRON K.K. (Japan)
Tel: +81 3 5781 0931AIXTRON Korea Co., Ltd.
Tel: +82 (31) 371-3000AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)
Tel: +886 3 571 2678AIXTRON Inc. (USA)
Tel: +1 (669) 228-3759
Yun Ling
China
Satoshi Fujii
Japan
Brian Chuang
Taiwan/Singapore
Ersatzteile Europa
Europe
Chanyoung Han
South Korea
Colin Wong
USA
Laura Preinich
Recruiter
Rainer Goeckel
CSR Manager
Rita Syre
Senior PR Manager
Guido Pickert
Vice President
Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President
Alan Tai
Taiwan/Singapore
Christof Sommerhalter
USA
Frank Schulte
Europe
Hisatoshi Hagiwara
Japan
Nam Kyu Lee
South Korea
Wei (William) Song
China
Vincent Meric
Direktor Marketing
Yun Ling
China
Satoshi Fujii
Japan
Brian Chuang
Taiwan/Singapore
Ersatzteile Europa
Europe
Chanyoung Han
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USA
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Guido Pickert
Vice President
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AIXTRON 24/7 Technical Support Line
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AIXTRON Ltd (UK)
AIXTRON K.K. (Japan)
AIXTRON Korea Co., Ltd.
AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)
AIXTRON Inc. (USA)
Guido Pickert
Vice President
Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President