Planeten-Prinzip (MOCVD)

Die MOCVD-Massenproduktionsanlagen basieren auf dem Planetenkonzept (Planetary Reactor), das von AIXTRON stetig weiterentwickelt wird. Die Reaktoren können mehrere Substrate mit Durchmessern von 2 bis 8-Zoll bzw. 200mm aufnehmen.

Der Planetary Reactor ® basiert auf dem Prinzip eines horizontalen Laminarflussreaktors. Dieses gewährleistet schärfste Übergänge zwischen verschiedenen Materialien und eine unvergleichliche Steuerung der Abscheideraten im Bereich einzelner Atomlagen. Die Kombination dieses Prinzips mit der Mehrfachrotation der Substratträger stellt sicher, dass die Abscheidung mit exzellenter Homogenität bezüglich Schichtdicke, Zusammensetzung und Dotierung erfolgt. Zudem gewährleistet der spezielle Reaktoreinlass, der eine Separation einiger Gase erlaubt, einen nach außen gleichmäßigen radialen Fluss mit einer optimal einstellbaren Verteilung.

Die Reaktoren sind induktiv geheizt und mit verschiedensten In-Situ-Sensoren ausrüstbar.