DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER

AIX G5+ C

“Hochmoderner Planetenreaktor steigert Produktivität und Wafer-Leistung”

Vorteile

  • Ausgewählt von den besten Unternehmen der Branche
  • Höchster Durchsatz
  • Niedrigste Betriebskosten
  • Höchste Ausbeute
  • Erste vollautomatisierte MOCVD-Anlage mit Cl2 in-situ Reinigung und Cassette-to-Cassette Wafer-Handler

Produkteigenschaften

  • Kostenvorteile eines Batch-Reaktors kombiniert mit der einzigartigen achsensymmetrischen On-Wafer-Gleichförmigkeit eines Einzelwafer-Reaktors in Bezug auf:
    • Waferkrümmung
    • Schichtdicke, Materialzusammensetzung, Dotier-Konzentration
    • Bauelement-Ausbeute
  • Warme Kammerdecke ergibt niedrigsten Wärmefluss durch Wafer
    • Minimierte Waferkrümmung durch minimalen vertikalen Temperatur-Gradienten
    • Ermöglicht den Einsatz von Si-Wafern mit Standarddicke
  • Wafer-Temperaturoptimierung durch kundenspezifisches Design der Substrattaschen

Konfigurationen

  • 8x150 mm
  • 5x200 mm

AIX G5+ C - Reaktormodul mit Cassette-to-Cassette-Waferhandler

Ihr Ansprechpartner

Product Management

Dr. Jens Voigt

Director Product Management

Sales

Alan Tai
Taiwan/Singapore

Tel: +886 3 571 2678 ext. 101

Christof Sommerhalter
USA

Tel: +1 669-228 ext. 3893

Frank Schulte
Europe

Tel: +49 (2407) 9030 -768

Hisatoshi Hagiwara
Japan

Tel: +81 3-5781-0935 ext. 510

Nam Kyu Lee
South Korea

Tel: +82 31 371 ext. 3011

Wei (William) Song
China

Tel: +86 2164453226 ext. 101

Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

Tel: +49 (0) 2407 9030-9022

Service

AIXTRON SE (Headquarters)

Tel: +49 (2407) 9030-0

AIXTRON SE (R&D Center)

Tel: +49 (2407) 9030-222

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

Tel: +49 (2407) 9030-999

AIXTRON Ltd (UK)

Tel: +44 (1223) 519-444

AIXTRON K.K. (Japan)

Tel: +81 3 5781 0931

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Tel: +82 (31) 371-3000

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Tel: +886 3 571 2678

AIXTRON Inc. (USA)

Tel: +1 (669) 228-3759

Ersatzteile

Herr Yun Ling
Ersatzteile

Tel: +86 21 64453226 Durchwahl: 207

Herr Satoshi Fujii
Ersatzteile

Tel: +81 3 5781 0932

Herr Brian Chuang
Ersatzteile

Tel: +886 3 5712 678 Durchwahl 250

Ersatzteile Europa
Ersatzteile

Herr Chanyoung Han
Ersatzteile

Tel: +82 31 371 3023

Herr Colin Wong
Ersatzteile

Tel: +1 669 228-3759

Karriere 

Laura Preinich
Recruiter

Tel: +49 (2407) 9030 0

Nachhaltigkeit

Rainer Goeckel
CSR Manager

Tel: +49 (0) 2407 9030-1830

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

Tel: +49 (2407) 9030 3665

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-444

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-335

Sales

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