DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER

AIX G5+ C

“Hochmoderner Planetenreaktor steigert Produktivität und Wafer-Leistung”

Vorteile

  • Ausgewählt von den besten Unternehmen der Branche
  • Höchster Durchsatz
  • Niedrigste Betriebskosten
  • Höchste Ausbeute
  • Erste vollautomatisierte MOCVD-Anlage mit Cl2 in-situ Reinigung und Cassette-to-Cassette Wafer-Handler

Produkteigenschaften

  • Kostenvorteile eines Batch-Reaktors kombiniert mit der einzigartigen achsensymmetrischen On-Wafer-Gleichförmigkeit eines Einzelwafer-Reaktors in Bezug auf:
    • Waferkrümmung
    • Schichtdicke, Materialzusammensetzung, Dotier-Konzentration
    • Bauelement-Ausbeute
  • Warme Kammerdecke ergibt niedrigsten Wärmefluss durch Wafer
    • Minimierte Waferkrümmung durch minimalen vertikalen Temperatur-Gradienten
    • Ermöglicht den Einsatz von Si-Wafern mit Standarddicke
  • Wafer-Temperaturoptimierung durch kundenspezifisches Design der Substrattaschen

Konfigurationen

  • 8x150 mm
  • 5x200 mm

AIX G5+ C - Reaktormodul mit Cassette-to-Cassette-Waferhandler

Ihr Ansprechpartner

Director Product Management

Dr. Jens Voigt

Director Product Management

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-444

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

Tel: +49 (2407) 9030 3665

Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

Tel: +49 (0) 2407 9030-9022

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-335

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

Tel: +49 (2407) 9030 0

Service

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

Tel: +49 (2407) 9030-999

AIXTRON Inc. (USA)

Tel: +1 (669) 228-3759

AIXTRON K.K. (Japan)

Tel: +81 3 5781 0931

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Tel: +82 (31) 371-3000

AIXTRON Ltd (UK)

Tel: +44 (1223) 519-444

AIXTRON SE (Headquarters)

Tel: +49 (2407) 9030-0

AIXTRON SE (R&D Center)

Tel: +49 (2407) 9030-222

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Tel: +886 3 571 2678

Ersatzteile

USA: Herr Colin Wong

Tel: +1 669 228-3759

Europa: Ersatzteile Europa

Japan: Herr Satoshi Fujii

Tel: +81 3 5781 0932

Südkorea: Herr Chanyoung Han

Tel: +82 31 371 3023

Taiwan: Herr Brian Chuang

Tel: +886 3 5712 678 Durchwahl 250

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Karriere

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Service

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USA: Herr Colin Wong

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China: Herr Yun Ling

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Europa: Ersatzteile Europa

Japan: Herr Satoshi Fujii

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Südkorea: Herr Chanyoung Han

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Taiwan: Herr Brian Chuang

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Guido Pickert
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Fax: +49 (2407) 9030-445

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Fax: +49 (2407) 9030 445

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Director Product Management

Fax: +49 (0) 2407 9030-40

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
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Fax: +49 (2407) 9030 494

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AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Fax: +886 3 571 2738