DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER & NEUARTIGE MATERIALIEN

Closed Coupled Showerhead® CCS und NOVO Anlagen für F&E

"Flexible MOCVD-Anlagen für F&E und Kleinserienfertigung"

Vorteile

  • Vielseitige F&E-Anlage mit integrierter Glovebox
    • Skalierbar von F&E bis Massenproduktion
    • Gleichmäßiges und reproduzierbares Wachstum für alle Materialsysteme
    • Hohe Flexibilität im Prozessfenster für exzellente Materialqualität und Gleichmäßigkeit
  • Ideal für kleine F&E-Budgets durch geringe laufende Kosten
    • Geringer Gasfluss und hohe Vorlaufeffizienz
    • Leichte und kostengünstige Wartung

Produkteigenschaften

  • Hohe Flexibilität für verschiedene MO- und Hydridquellen
  • Digitale Massendurchfluss- und Druckregler
  • Professionelles AIXACT® Advanced Control System mit HTML-basierter GUI
  • Kompakte Standfläche

CCS

  • Bewährte Close Coupled Showerhead®-Prozesskammer mit 3-Zonen-Heizer 
  • Dynamische Prozessspaltanpassung - effektives Prozess-Tuning für mehr Leistung
  • 1400 °C Oberflächentemperatur-Option
  • In-situ-Monitoring mit Laytec EpiTT, EpiCurveTT und weiteren auf Anfrage
  • Vollständige Abbildung der Wafer-Temperatur mit AIXTRON ARGUS 
  • AIXTRON Epison-Gaskonzentrationssensoren
  • Konfigurationen  (durch einfachen Trägeraustausch)
    • 3x2-Zoll, 1x3-Zoll, 1x4-Zoll
    • 6x2 Zoll, 7x2-Zoll, 3x3 Zoll, 1x4-Zoll, 1x6 Zoll
    • 19x2-Zoll, 7x3-Zoll, 5x4-Zoll, 1x6-Zoll, 1x8-Zoll

NOVO

  • Kaltwandiger thermischer und plasmagestützter CVD-Showerheadreaktor
  • Remote- und Substratplasma
  • 1050°C Oberflächentemperatur
  • Kapazität für 1x4-Zoll-Wafer oder kleine Muster
  • Optionale Turbopumpe für die Prozesskammer
     

CCS / NOVO-Anlagen für F&E

Ihr Ansprechpartner

Produktmanager CCS F&E und NOVO

Dr. Andrew Pakes

Produktmanager

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-444

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

Tel: +49 (2407) 9030 3665

Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

Tel: +49 (0) 2407 9030-9022

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-335

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

Tel: +49 (2407) 9030 0

Service

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

Tel: +49 (2407) 9030-999

AIXTRON Inc. (USA)

Tel: +1 (669) 228-3759

AIXTRON K.K. (Japan)

Tel: +81 3 5781 0931

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Tel: +82 (31) 371-3000

AIXTRON Ltd (UK)

Tel: +44 (1223) 519-444

AIXTRON SE (Headquarters)

Tel: +49 (2407) 9030-0

AIXTRON SE (R&D Center)

Tel: +49 (2407) 9030-222

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Tel: +886 3 571 2678

Ersatzteile

USA: Herr Colin Wong

Tel: +1 669 228-3759

Europa: Ersatzteile Europa

Japan: Herr Satoshi Fujii

Tel: +81 3 5781 0932

Südkorea: Herr Chanyoung Han

Tel: +82 31 371 3023

Taiwan: Herr Brian Chuang

Tel: +886 3 5712 678 Durchwahl 250

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

E-Mail senden

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

E-Mail senden

Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

E-Mail senden

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

E-Mail senden

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

E-Mail senden

Service

Ersatzteile

USA: Herr Colin Wong

E-Mail senden

China: Herr Yun Ling

E-Mail senden

Europa: Ersatzteile Europa

Japan: Herr Satoshi Fujii

E-Mail senden

Südkorea: Herr Chanyoung Han

E-Mail senden

Taiwan: Herr Brian Chuang

E-Mail senden

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Fax: +49 (2407) 9030-445

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

Fax: +49 (2407) 9030 445

Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

Fax: +49 (0) 2407 9030-40

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

Fax: +49 (2407) 9030 494

Service

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

AIXTRON Europe

Fax: +49 (2407) 9030-167

AIXTRON Inc. (USA)

AIXTRON K.K. (Japan)

Fax: +81 3 5781 0940

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Fax: +82 (31) 371-3093

AIXTRON Ltd (UK)

Fax: +44 (1223) 519-888

AIXTRON SE (Headquarters)

Fax: +49 (2407) 9030-40

AIXTRON SE (R&D Center)

Fax: +49 (2407) 9030-8030

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Fax: +886 3 571 2738