03. Januar 2019 | Pressemeldungen

BluGlass kooperiert mit AIXTRON

Bewertung der RPCVD-Technologie erfolgt mit AIX 2800G4-HT-System

Herzogenrath, 03. Januar 2019 – AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, gibt bekannt, dass es mit dem australischen Technologie-Innovator BluGlass Limited (ASX: BLG) bei der Evaluation von dessen einzigartiger Remote Plasma Deposition (RPCVD)-Technologie zusammenarbeitet.

Für die Skalierung von RPCVD auf die Massenproduktion hat BluGlass sich für die AIX 2800G4-HT-Anlage entschieden. Aufgrund seiner urheberrechtlich geschützten doppelachsigen Waferrotation während der Deposition liefert der Planetary Reactor® von AIXTRON gleichmäßigste, im Markt führende Halbleiterschichten. Die RPCVD-Technologie ermöglicht die Niedertemperaturabscheidung von III-V-Nitriden, was die Leistung von Bauteilen potenziell verbessern könnte. Die erste Integration von RPCVD auf die AIX 2800G4-HT erfolgt im Silverwater-Werk von BluGlass in Sydney, Australien.

Giles Bourne, Geschäftsführer von BluGlass, sagt: „Wir freuen uns sehr, dass AIXTRON uns bei diesem Großprojekt zur Skalierung unserer Technologie unterstützt. Dies ist ein wichtiger Schritt, um die wirtschaftliche Tragfähigkeit von RPCVD in der Großserienfertigung zu demonstrieren.“

Dr. Ken Teo, Chief Innovation Officer von AIXTRON, ergänzt: „Bei AIXTRON sind wir ständig bestrebt, neue Technologien auf unsere Plattformen zu bringen, um unseren Kunden erweiterte Funktionalitäten zu bieten. Wir wollen das Potenzial der RPCVD-Technologie für die Niedertemperaturabscheidung von Nitrid-Schichten untersuchen, die neue Möglichkeiten für optoelektronische Bauelemente eröffnen können. Wir freuen uns bei der Integration von RPCVD und der Bewertung der Technologie auf die Zusammenarbeit mit BluGlass.“

 

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