DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER

Closed Coupled Showerhead® Flip Top Reactor

"MOCVD-Anlage für F&E und Kleinserienfertigung"

Vorteile

  • Bewährter Close Coupled Showerhead®
    • Skalierbar von F&E bis Massenproduktion
    • Gleichmäßiges und reproduzierbares Wachstum für alle Materialsysteme
    • Hohe Flexibilität im Prozessfenster für exzellente Materialqualität und Gleichmäßigkeit
  • Ideal für kleine F&E-Budgets durch geringe laufende Kosten
    • Geringer Gasfluss und hohe Vorlaufeffizienz
    • Leichte und kostengünstige Wartung

Produkteigenschaften

  • Zuverlässiger 3-Zonen-Heizer
  • Hohe Flexibilität für optionale MO-Hydridquellen
  • Digitale Massendurchfluss- und Druckregler
  • Professionelles AIXACT® Advanced Control System mit HTML-basierter GUI
  • Kompakte Standfläche

Optional

  • Dynamische Prozessspaltanpassung - effektives Prozess-Tuning für mehr Leistung
  • 1300 °C Oberflächentemperatur-Ausstattung
  • Vielseitiges In-situ-Monitoring-Portfolio: Laytec EpiTTT, EpiCurveTT und viele weitere auf Anfrage
  • AIXTRON ARGUS Wärmebildgerät
  • AIXTRON Epison-Gaskonzentrationssensoren für verbesserte Genauigkeit der Vorlauf-Einspritzung

Konfigurationen

  • 3x2 Zoll, 1x4 Zoll, 1x3 Zoll, 1x2 Zoll (durch einfachen Trägeraustausch)
  • 6x2 Zoll, 3x3 Zoll, 1x6 Zoll (durch einfachen Trägeraustausch)

CCS Flip Top Reactor 3x2 Zoll / 6x2 Zoll

Ihr Ansprechpartner

Product Management

Dr. Jens Voigt

Director