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AIXTRON liefert neuartige Depositionsanlage für 2D-Materialforschung an EPFL

Führende Schweizer Universität konzentriert sich auf die Entwicklung von Halbleitern der nächsten Generation auf Basis des AIXTRON BM-Systems

AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, gab heute bekannt, dass die École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) in Lausanne (Schweiz) ein BM NOVO-System erworben hat. Diese vielseitige Anlage, mit der sich nahezu alle Varianten von zweidimensionalen Werkstoffen (2D) herstellen lassen, die für neu entstehende optoelektronische Anwendungen benötigt werden, dient der Unterstützung von Forschungsprojekten der Universität, die von Prof. Andras Kis und Prof. Aleksandra Radenovic koordiniert werden.

AIXTRONs BM NOVO-Anlage verwendet eine einzigartige Kombination aus plasma-verstärkter PECVD-Technologie (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und MOCVD-Technologie (Metal Organic Chemical Vapor Deposition), um das Wachstum hochwertiger 2D-Materialien wie Übergangsmetall-Dichalcogenide (TMDCs), zum Beispiel Molybdändisulfid (MoS2) oder Wolframdiselenid (WSe2), zu ermöglichen.

TMDCs verbinden atomdünne Schichtdicke mit einzigartigen elektrischen, optischen und mechanischen Eigenschaften und machen sie somit zu einem bevorzugten Material für optoelektronische, elektronische, Energiespeicher-, Spintronik-, Sensor- und sogar DNA-Sequenzieranwendungen. Angesichts dieser vielfältigen Einsatzmöglichkeiten wurde die neue BM NOVO-Anlage entwickelt, um Kunden die Lösung kritischer Herausforderungen in der Abscheidung von TMDCs zu ermöglichen und gleichzeitig die Zuverlässigkeit zu bieten, die für die Entwicklung von zukunftsweisenden Anwendungen erforderlich ist.

Prof. Andras Kis, einer der weltweit führenden Experten in der 2D-Materialforschung, kommentiert: „AIXTRONs neue BM NOVO-Anlage wird die Flexibilität und Zuverlässigkeit bieten, die wir benötigen, um unsere Forschung voranzutreiben, die sich auf die Untersuchung von elektrischen Eigenschaften, physikalischen Grundlagen und praktischen Anwendungen von 2D-Materialien wie TMDCs konzentriert.“

Prof. Aleksandra Radenovic, die die Forschung an 2D-Materialien für die Biophysik an der EPFL leitet, sagt: „Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit AIXTRON, da die innovative neue Anlage des Unternehmens unsere Forschung auf dem Gebiet der Einzelmolekül-Biophysik unterstützen wird, welche die Weiterentwicklung von Techniken und Methoden auf der Basis optischer Bildgebung, Biosensorik und der Manipulation von Einzelmolekülen einschließt.“

AIXTRON ist ein führender Hersteller von Abscheidungsanlagen für die Synthese komplexer Materialien. Die vielseitige BM-Produktlinie hat sich auf dem F&E-Markt bewährt und bietet Kunden die innovative Technologie der Nanomaterialabscheidung in Verbindung mit einer beispiellosen Reproduzierbarkeit, Prozesskontrolle und Homogenität, um die Anwendungsentwicklung voranzutreiben.