AIXTRON SE und Manz AG vereinbaren strategische Kooperation zur OLED-Fertigung

Die AIXTRON SE, ein führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, und der Reutlinger Spezialmaschinenbauer Manz AG haben eine strategische Zusammenarbeit zur Weiterentwicklung von Lösungen zur effizienten Produktion organischer Leuchtdioden (OLEDs) vereinbart. Ziel ist es, die Chancen des Zukunftsmarkts für OLED-Technologien gemeinsam zu nutzen.

Im Rahmen der Kooperation werden die Partner eine neue Demonstrationsanlage zur effizienten Abscheidung organischer Schichten bis zur Substratgröße Gen8 (2.300 mm x 2.500 mm) auf der Basis von AIXTRONs patentierter OVPD-Prozesstechnologie entwickeln. Mit dem neuen Demonstrator wird es erstmals möglich sein, die Vorteile dieser Technologie für die kostengünstige und effiziente Herstellung organischer Leuchtdioden für Displays und Beleuchtungsanwendungen in einer industriell relevanten Größe zu demonstrieren.

Manz wird dabei seine umfangreiche Erfahrung in der Reinigung und Handhabung großformatiger Glassubstrate sowie in der Entwicklung und Fertigung großer Vakuumanlagen einbringen. AIXTRON wird im Zuge der Zusammenarbeit seine OVPD-Prozesstechnologie weiterentwickeln, da die effiziente Abscheidung der organischen Schichten als ein entscheidender Produktionsschritt für die wirtschaftliche Herstellung großflächiger OLEDs gilt. Mit der OVPD-Technologie lassen sich äußerst homogene, leicht skalierbare Dünnfilme mit hoher Materialeffizienz und hohen Abscheideraten herstellen.

Die neue Anlage wird in den kommenden Monaten in einem Reinraum bei AIXTRON aufgebaut. Neben der Demonstration des proprietären OVPD-Prozesses und dessen Skalierbarkeit für große Substrate wird die Qualifizierung neuer Komponenten im Mittelpunkt stehen. Voraussetzung für eine stärkere Marktdurchdringung der OLED-Technologie ist neben der Reduzierung der Herstellungskosten die Steigerung der Ausbringung. Dies bedingt jedoch die Einführung effizienterer Produktionsverfahren in Verbindung mit dem Einsatz großformatiger Substrate.

Die OVPD-Technologie wurde exklusiv von Universal Display Corporation (UDC), Ewing, N.J./USA, an AIXTRON zum Bau von Anlagen lizenziert. Sie basiert auf einer Erfindung von Professor Stephen R. Forrest et. al. an der Princeton University, USA, die wiederum exklusiv an UDC lizenziert wurde. AIXTRON und UDC haben gemeinsam einen OVPD-Prototypen zur OLED-Herstellung entwickelt und qualifiziert.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®