23. Oktober 2012 | Verbindungshalbleiter

Asahi Kasei produziert Bauelemente nächster Generation mit AIXTRON Anlage

Die japanische Asahi Kasei Corporation („Asahi Kasei“) hat im ersten Quartal 2012 eine 6x2-Zoll Close Coupled Showerhead (CCS)-Anlage bestellt. Damit sollen arsenid- und phosphidbasierte Schichtstrukturen für optoelektronische Bauelemente sowie Sensoren auf Antimonid-Basis hergestellt werden. Die Auslieferung der Anlage ist für das vierte Quartal geplant.

Technologie von AIXTRON hat in Japan einen ausgezeichneten Namen. Asahi Kasei hat sich vor allem aufgrund der flexiblen Möglichkeiten im Bereich der Forschung für die neue Anlage entschieden, mit der wahlweise auf kleinen und großen Wafern produziert werden kann. Die Prozesse lassen sich außerdem sehr einfach auf die Massenproduktion übertragen. Das Konzept der Showerhead-Anlage ermöglicht eine hohe Produktionsausbeute bei Bauelementen mit größeren Abmaßen. Die Anlage für den japanischen Hersteller ist darüber hinaus mit Zusatzfunktionalitäten wie EpiTT, dem Multikanal-In-situ-Messgerät ARGUS sowie einstellbarer Reaktorhöhe ausgestattet.

Über die Tochtergesellschaft Asahi Kasei Microdevices Corporation entwickelt Asahi Kasei schon seit einiger Zeit Antimonid-basierte Magnetfeldsensoren, die auf dem sogenannten Hall-Effekt beruhen. Antimonid-basierte Sensoren haben einzigartige Materialeigenschaften und zeichnen sich verglichen mit Sensoren aus anderen Materialien durch höchste Empfindlichkeit aus.

Die Asahi Kasei Microdevices Corporation, eine 100%ige Tochter von Asahi Kasei, ist Weltmarktführer für Hall-Elemente und Hall-Effekt-ICs mit einem Marktanteil von mehr als 75%. Haupteinsatzgebiete von Hall-Elementen sind bürstenlose Motoren in Blu-ray- und DVD-Laufwerken, Gebläse in elektrischen Geräten, Stromsensoren in Haushaltsgeräten sowie Positionssensoren in Bildstabilisatoren von Digital- und Videokameras. Halleffekt-Schalter werden größtenteils auch zur Positions- und Drehrichtungsbestimmung in Mobiltelefonen, Motoren oder in Industrie- und Automobilanwendungen verwendet.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®

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