02. Juli 2019 | Pressemeldungen

AIXTRON liefert MOCVD-System an Universität Nagoya

Führende japanische Forschungseinrichtung will die Grenzen von GaN-basierten Bauelementen im tiefultravioletten Bereich mit bewährter AIXTRON-Technologie hinausschieben

Herzogenrath, 2. Juli 2019 – AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, hat eine Close Coupled Showerhead® (CCS)-Anlage an die Universität Nagoya (Japan) geliefert. Das 3x2-Zoll Flip Top CCS MOCVD-System von AIXTRON ist für die Forschung im Bereich tiefultravioletter (DUV, engl. deep ultra violet) optoelektronischer Bauelemente aus Galliumnitrid (GaN) vorgesehen und wurde am Institut für nachhaltige Materialien und Systeme (IMaSS, engl. Institute of Materials and Systems for Sustainability) der Universität installiert.

Die Universität Nagoya ist eine der führenden japanischen Forschungseinrichtungen für Halbleitermaterialien, insbesondere auf dem Gebiet GaN-basierter Strukturen. Durch die Konzentration auf die Entwicklung von DUV-Bauelementen mittels der 3x2-Zoll Flip Top CCS MOCVD-Anlage von AIXTRON trägt das IMaSS deren Nutzen für eine Vielzahl zukunftsweisender Anwendungen in Bereichen wie der Landwirtschaft, der Gesundheit oder der Wasseraufbereitung Rechnung.

Die bewährte AIXTRON-Anlage wurde speziell für die Forschung und Kleinserienproduktion entwickelt und ermöglicht eine echte Skalierung von der Forschung und Entwicklung bis zur Großserienproduktion. Das einzigartige Close Coupled Showerhead-Konzept ermöglicht von Natur aus eine extrem gleichmäßige und reproduzierbare Abscheidung verschiedener komplexer, meist einkristalliner Materialien. Die hohe Flexibilität des außergewöhnlichen Reaktordesigns ermöglicht nicht nur die Weiterentwicklung bestehender Materialien und deren Anwendung in zukünftigen Geräten, sondern auch eine umfassende Erforschung ganzer Materialien, ihrer Eigenschaften und Einsatzmöglichkeiten. 

"Neben seiner herausragenden technischen Leistung zeichnet sich unser Closed Coupled Showerhead® Flip Top-Reaktor durch seine einfache Wartung und niedrigste Betriebskosten aus. Die Anlage ist eines der erfolgreichsten AIXTRON-Produkte, wie zahlreiche Aufträge von Universitäten, Labors und anderen Forschungseinrichtungen weltweit belegen. Wir freuen uns auf eine enge Zusammenarbeit mit der Universität Nagoya und ihrem renommierten IMaSS", sagt Dr. Bernd Schulte, Vorstand der AIXTRON SE.
 

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