DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER

AIX R6

“Arbeitspferd für die Massenproduktion und kostengünstige Herstellung von GaN LEDs”

Vorteile

  • Große Reaktorkapazität
  • Maximaler Durchsatz
  • Automatisierung
  • Kontinuierliche Läufe
  • Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit
  • Intrinsische Ausbeute und Gleichmäßigkeit durch Close Coupled Showerhead®.
  • Multi-Zonen In-situ-Temperaturregelung an der Oberseite
  • Verbesserte, gleichmäßige Temperatur für Run-to-Run-Kontinuität

Produkteigenschaften

  • Automatische Be- und Entladung bei hohen Temperaturen
  • Flexible Konfiguration zwischen 2-, 4- und 6-Zoll-Wafern
  • Dynamische Höhenverstellung der Prozesskammer
  • LayTec Advanced Process Control
  • Benutzerfreundliche Bedienoberfläche

Konfigurationen

  • 121 x 2 Zoll
  • 31 x 4 Zoll
  • 12 x 6 Zoll

Ihr Ansprechpartner

Product Management

Dr. Jens Voigt

Director