DEPOSITIONSANLAGEN FÜR KOHLENSTOFF-NANOMATERIALIEN

BM Pro 2x8"

“Einzigartige Lösung für die Serienfertigung von Graphen und Kohlenstoff-Nanoröhren”

Vorteile

  • Hochwertige Einzel- oder Doppelseitenbeschichtung von Graphen und Kohlenstoff-Nanoröhren für eine große Bandbreite von Anwendungen
  • Schnelle Durchlaufzeiten (TAT) (< 1 Stunde)
  • Doppelte Showerhead-Technologie für verbesserte Gasverteilung
  • Niedrige Betriebskosten
  • Einfache Wartung und Reinigung

Produkteigenschaften

  • Wärmegestützte CVD-Kaltwandtechnologie
  • Bis zu 10 Gaskanäle
  • Temperaturen bis 1050 °C mit Anstiegsrate von 300°C/Min.
  • Automatische Prozesskontrolle mit bewährten Rezepturen
  • Management- und Berichtsinstrumente für mehrere Nutzer
  • Sicherheitssystem mit vollständiger Messdatenerfassung

Substratgrößen / Konfigurationen

  • Bis zu 8x8-Zoll Doppel- oder Einzelseitenbe-schichtungen (kleinere Größen auf Nachfrage)

BM Pro 2x8’’

Ihr Ansprechpartner

Product Management

Dr. Jens Voigt

Director