DEPOSITIONSANLAGEN FÜR KOHLENSTOFF-NANOMATERIALIEN

BM Pro

“Führende F&E-Anlage für Graphen und Kohlenstoff-Nanoröhren”

Vorteile

  • Hochwertige Graphen- und Kohlenstoff-Nanoröhrchen auf Wafern und Foliensubstraten
  • Showerhead-Gasverteilung für verbesserte Homogenität
  • Boden- und Top-Heiztechnik, Temperaturen bis 1050 °C
    mit Anstiegsrate bis 300 °C/Min.
  • Wärme- und plasmagestützte CVD-Technologie für flexible Prozesse
  • Bis zu 10 Gaskanäle für breite Auswahl an Gasquellen

Produkteigenschaften

  • Wärme- und plasmagestützte CVD-Kaltwandtechnologie
  • Showerhead-Gasverteilung
  • Automatische Prozesskontrolle mit bewährten Rezepturen
  • Management- und Berichtsinstrumente für mehrere Nutzer
  • Integrierte Prozesskamera
  • Sicherheitssystem mit vollständiger Messdatenerfassung

Substratgrößen / Konfigurationen

  • Konfigurierbare Substratgrößen: 4-Zoll, 6-Zoll, 8-Zoll
  • Epitaxie-Wachstum mit Temperaturen bis 1700 °C
  • Flüssigkeitszufuhr
  • Turbo Pumpensystem
  • Extra-Durchführungen, -Schnittstellen, -Flüssigkeitszufuhr und
    -Infrastruktur-Optionen

BM Pro

Ihr Ansprechpartner

Product Management

Dr. Jens Voigt

Director