DEPOSITIONSANLAGE FÜR KOHLENSTOFF-NANOMATERIALIEN

BM 300T

“Die Referenzanlage der Industrie für Ihre Produktionsanforderungen”

Vorteile

  • Gleichmäßige Abscheidung von Graphen und Kohlenstoff-Nanoröhren auf 200 mm und 300 mm Wafern
  • Wärme- und plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (CVD) für Prozessflexibilität
  • 3-Zonen-Substratbeheizung, max. Temperatur
    1050 °C
  • Unabhängiger 3-Zonen-Heizer oben
  • Kompatibel mit Mehrfach- oder Einzelwafer-Transfermodul

Produkteigenschaften

  • Showerhead-basierte Technologie
  • Substrat-Rotation
  • Automatische Prozesskontrolle mit bewährten Rezepturen
  • Management- und Berichtsinstrumente für mehrere Nutzer
  • Sicherheitssystem mit vollständiger Messdatenerfassung

Substratgrößen / Konfigurationen

  • 300 mm- (12-Zoll-) oder 200 mm- (8-Zoll-) Wafer
  • Zuführung flüssiger Ausgangsstoffe
  • Extra-Schnittstellen/-Durchführungen für in-situ-Analyse

BM 300T

Ihr Ansprechpartner

AIXTRON Ltd. UK

Oliver Whear

Produktmanager

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-444

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

Tel: +49 (2407) 9030 3665

Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

Tel: +49 (0) 2407 9030-9022

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

Tel: +49 (2407) 9030-335

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

Tel: +49 (2407) 9030 0

Service

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

Tel: +49 (2407) 9030-999

AIXTRON Inc. (USA)

Tel: +1 (669) 228-3759

AIXTRON K.K. (Japan)

Tel: +81 3 5781 0931

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Tel: +82 (31) 371-3000

AIXTRON Ltd (UK)

Tel: +44 (1223) 519-444

AIXTRON SE (Headquarters)

Tel: +49 (2407) 9030-0

AIXTRON SE (R&D Center)

Tel: +49 (2407) 9030-222

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Tel: +886 3 571 2678

Ersatzteile

USA: Herr Colin Wong

Tel: +1 669 228-3759

Europa: Ersatzteile Europa

Japan: Herr Satoshi Fujii

Tel: +81 3 5781 0932

Südkorea: Herr Chanyoung Han

Tel: +82 31 371 3023

Taiwan: Herr Brian Chuang

Tel: +886 3 5712 678 Durchwahl 250

Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

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Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

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Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

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Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

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Karriere

Laura Preinich
Recruiter

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Service

Ersatzteile

USA: Herr Colin Wong

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China: Herr Yun Ling

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Europa: Ersatzteile Europa

Japan: Herr Satoshi Fujii

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Südkorea: Herr Chanyoung Han

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Taiwan: Herr Brian Chuang

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Unternehmen & Investor Relations

Guido Pickert
Vice President

Fax: +49 (2407) 9030-445

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Henning Marburger
Senior PR Manager

Fax: +49 (2407) 9030 445

Produkte

Dr. Jens Voigt
Director Product Management

Fax: +49 (0) 2407 9030-40

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

Fax: +49 (2407) 9030 494

Service

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

AIXTRON Europe

Fax: +49 (2407) 9030-167

AIXTRON Inc. (USA)

AIXTRON K.K. (Japan)

Fax: +81 3 5781 0940

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Fax: +82 (31) 371-3093

AIXTRON Ltd (UK)

Fax: +44 (1223) 519-888

AIXTRON SE (Headquarters)

Fax: +49 (2407) 9030-40

AIXTRON SE (R&D Center)

Fax: +49 (2407) 9030-8030

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Fax: +886 3 571 2738