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San’an Optoelectronics qualifiziert Showerhead-Reaktor von AIXTRON für die Produktion Ultraviolett emittierender (DUV) LEDs

Neues Prozesskammer-Design ermöglicht Ausweitung der Produktion von hochleistungsfähigen DUV LEDs

AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, gibt heute bekannt, dass der weltweit führende chinesische Optoelektronik-Hersteller San’an die Qualifizierung von AIXTRONs neuartiger Close Coupled Showerhead (CCS)-Prozesskammer zur Produktion von Ultraviolett emittierenden (DUV=Deep Ultra Violet) LEDs erfolgreich abgeschlossen hat.

Die neue Prozesskammer basiert auf AIXTRONs erprobter CCS-Technologie. Es handelt sich dabei um den ersten derzeit erhältlichen MOCVD-Produktionsreaktor, der die extrem hohen Prozesstemperaturen ermöglicht, die für die Produktion von DUV LEDs benötigt werden. Die verbesserte Kammerleistung erleichtert die kosteneffiziente Volumenherstellung von DUV LEDs wie sie für die Wasser- und Luftreinigung genutzt werden. Die Konfiguration 19x2-Zoll stellt die größte, aktuell im Markt erhältliche Kapazität für diese High End-MOCVD-Anwendung dar.

Dr. Ryan Chuo, Vice President of Technology Center, San’an Optoelectronics, sagt: „Das neue Design der CCS-Prozesskammer von AIXTRON ist ein Schlüsselfaktor für San’an, um modernste DUV LEDs mit hoher Quanteneffizienz und deutlich höheren Ausgangsleistungen zu produzieren. Als einer der bereits jetzt größten Hersteller von LEDs, unterstützt die neukonzipierte Prozesskammer von AIXTRON perfekt unsere strategischen Ziele im Bereich der DUV LEDs zum weiteren Ausbau unserer Branchenführung. Daher freuen wir uns, das erste Unternehmen zu sein, welches das neue Prozesskammer-Set von AIXTRON qualifiziert hat und nutzt.“