• Planetary und Horizontal Reactor

    • Für alle Planetary Reactor und Horizontal Reactor Anlagentypen

      • Glovebox

        Glovebox

        Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        Moisture Sensor for Glovebox
        Glovebox Dry Pump
        Purge Box Function
        N2 Spray Gun
        Automatic Pump Purge
        Glovebox Tray

      • Gas Mixing System

        Gas Mixing System

        Sources

        MO-G1
        MO-G2
        MO-G3
        MO-G4
        MO-G6 

        Moisture Sensors
        Concentration Measuring Epison 4
        Pressure Balancing
        H2/N2 Collector Purge
        Flow Limit Circuit
        MO-Vac Line
        MO-Vac High Pressure Purge
        Filter Purge Function
        Purifier for N2, H2, NH3

      • Vacuum System

        Vacuum System

        CT1000 Filter Unit
        EBARA Dry Pump

      • Cooling System

        Cooling System

        Digital Flow Meter
        Water Filter

      • Control Unit

        Control Unit

        Actuell CACE Version
        New Computer
        UPS
        Safety Control Unit
        Toxic Gas Monitor CM4

    • AIX 200 Serie

      • AIX 200

        AIX 200 (1x2")

        Retrofit

        Retrofit AIX 200RF
        Retrofit AIX 200/4
        Retrofit 200/4 RF
        Retrofit AIX 200/4 RF-S
        Retrofit Insitu Monitoring Reactor
        Retrofit GFR

        Insitu Monitoring

        EpiRAS 200
        EpiRAS 200 TT
        EpiTUNE III
        DOR System

      • AIX 200 RF

        AIX 200 RF (1x2")

        Retrofit

        Retrofit AIX 200
        Retrofit AIX 200/4
        Retrofit 200/4 RF
        Retrofit AIX 200/4 RF-S

        Insitu Monitoring

        EpiRAS 200
        EpiRAS 200 TT
        EpiTUNE III

      • AIX 200/4

        AIX 200/4

        Retrofit

        1x2"
        1x3"
        1x4"
        3x2"
        Retrofit AIX 200/4 RF
        Retrofit AIX 200/4 RF-S
        Retrofit Planetary Rotation 3x2"

        Insitu Monitoring

        EpiRAS 200
        EpiRAS 200 TT
        EpiTUNE III

        Reactor Retrofit "Insitu Monitoring"

      • AIX 200/4 RF

        AIX 200/4 RF

        Retrofit

        1x2"
        1x3"
        1x4"
        3x2"
        Retrofit AIX 200/4
        Retrofit AIX 200/4 RF-S
        Retrofit Planetary Rotation 3x2"

        Insitu Monitoring

        EpiTUNE III
        EpiTT

      • AIX 200/4 RF-S

        AIX 200/4 RF-S

        Retrofit

        1x2"
        1x3"

        Insitu Monitoring

        EpiTUNE III
        EpiRAS 200
        EpiRAS 200 TT

    • AIX 2000 Serie

      • AIX 2000

        AIX 2000

        Retrofit

        7x2"
        5x3"

        Insitu Monitoring

        EpiTUNE III
        EpiRAS 2000
        EpiRAS 2000 TT

      • AIX 2000 HT

        AIX 2000 HT

        Retrofit

        6x2"
        7x2"

        Insitu Monitoring

        EpiTUNE III

    • AIX 2400 Serie

      • AIX 2400

        AIX 2400 HT

        Retrofit

        8x3"
        5x4"
        11x2"
        15x2"

        Insitu Monitoring (8x3", 5x4")

        EpiTUNE III
        EpiRAS 2000
        EpiRAS 2000 TT
        IR Thermo Sensor f. Ceiling Temperature
        Insitu Reactor Lid

      • AIX 2400G3 (R)

        AIX 2400G3 (R)

        Retrofit

        5x4" (4")
        5x4" (3x2")
        8x3" (3")
        8x3" (2")
        11x2"
        Retrofit AIX 2600G3
        Retrofit AIX 2600G3 HT

        Insitu Monitoring

        EpiTUNE III
        EpiRAS 2000
        EpiRAS 2000 TT
        IR Thermo Sensor f. Ceiling Temperature

      • AIX 2400G3 HT-S

        AIX 2400G3 HT-S (6x2")

        Retrofit

        Retrofit AIX 2400G3 HT-L
        Retrofit AIX 2600G3 HT

        Insitu Monitoring

        EpiTUNE III

      • AIX 2400G3 HT-L

        AIX 2400G3 HT-L (11x2")

        Retrofit

        Retrofit AIX 2600G3 HT
        Yield Plus Package

        Insitu Monitoring

        EpiCurve TT
        EpiTUNE III
        IR Thermo Sensor f. Ceiling Temperature

    • AIX 2600 Serie

      • AIX 2600G3 (R)

        AIX 2600G3 (R)

        Retrofit

        5x6" (6")
        5x6" (7x2")
        7x6" (6")
        7x6" (7x2")
        8x4" (4")
        8x4" (3x2")
        12x3" (3")
        12x3" (2")
        12x4" (4")
        18x3"

        Insitu Monitoring

        EpiCurve TT für 8x4" (4")
        EpiTUNE III
        EpiRAS 2000
        EpiRAS 2000 TT
        IR Thermo Sensor f. Ceiling Temperature

      • AIX 2600G3 HT

        AIX 2600G3 HT

        Retrofit

        8x4" (1x4")
        8x4" (3x2") => 24x2"
        12x3"
        Yield Plus Package

        Insitu Monitoring

        EpiCurve TT für 8x4" (4")
        EpiTUNE III
        IR Thermo Sensor f. Ceiling Temperature

    • AIX 2800 Serie

      • AIX 2800G4 HT

        AIX 2800G4 HT

        Retrofit

        6x6"
        6x150mm
        11x4"
        42x2"

        Insitu Monitoring

        EpiTUNE III
        EpiTUNE III2
        EpiCurve TT

      • AIX 2800G4 R

        AIX 2800G4 R

        Retrofit

        8x6"
        14x3"
        15x4"
        60x2"

      • AIX 2800G4 WW

        AIX 2800G4 WW

        Retrofit

        10x100mm
        6x150mm

    • AIX G5 HT

      • AIX G5 HT

        AIX G5 HT

        Retrofit

        8x6"
        14x4"
        56x2"

    • MOVPE

      • LP-VPE

        LP-VPE

        Temperature Profile Measurement
        NH3 Gas Lead chamber
        Pressure Monitoring for Source lines

  • Close Coupled Showerhead

    • Für alle Close Coupled Showerhead Anlagen

      • 1x2" vertical

        1x2" vertical

        Reactor

        Pyrometer 4 Ports

        Glovebox

        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Purge Box Function
        Automatic Pump Purge
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Epifolds
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        Water Cooled Bathes
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter
        Throttle Valve Uptime Kit

        Cooling

        Digital Flow Meter

        E-Rack

        Beckhoff/Siemens
        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Active Door Interlock
        Dry Pumps (GB, Load lock, Process)
        Oxydation Kit
        Epicat

      • 3x2" vertical (3x2", 1x3", 1x4")

        3x2" vertical (3x2", 1x3", 1x4")

        Reactor

        6x2" vertical (cabinet)
        6x2" FT
        19x2" FT (cabinet)
        Tungsten Heater (1200°C)
        Graphite Heater (900°C)
        Tungsten Heater (1300°C)
        Pyrometer 4 Ports

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Purge Box Function
        Automatic Pump Purge
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Epifolds
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter
        Throttle Valve Uptime Kit

        Cooling

        Digital Flow Meter

        E-Rack

        Beckhoff/Siemens
        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Active Door Interlock
        Dry Pumps (GB, Load lock, Process)
        Oxydation Kit
        Epicat

      • 6x2" vertical (6x2", 7x2", 3x3", 1x6")

        6x2" vertical (6x2", 7x3", 3x3", 1x6")

        Reactor

        6x2" FT
        19x2" FT (cabinet)
        Tungsten Heater (1200°C)
        Graphite Heater (900°C)
        Tungsten Heater (1300°C)
        Pyrometer 4 Ports

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Purge Box Function
        Automatic Pump Purge
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Epifolds
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter
        Throttle Valve Uptime Kit

        Cooling

        Digital Flow Meter

        E-Rack

        Beckhoff/Siemens
        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Active Door Interlock
        Dry Pumps (GB, Load lock, Process)
        Oxydation Kit
        Epicat

      • 6x2" FT

        6x2" FT

        Reactor

        Tungsten Heater (1200°C)
        Graphite Heater (900°C)
        Tungsten Heater (1300°C)
        Pyrometer 4 Ports
        Affinity Heatexchanger

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Automatic Pump Purge
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Differential Pressure Control
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Epifolds
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        N2/H2 MO Selection
        Water Cooled Bathes
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter
        Throttle Valve Uptime Kit

        Cooling

        Digital Flow Meter

        E-Rack

        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Active Door Interlock
        Oxydation Kit
        Epicat

      • 19x2" FT (7x3", 4x4", 19x2")

        19x2" FT (7x3", 4x4", 19x2")

        Reactor

        Tungsten Heater (1300°C)
        Pyrometer 4 Ports
        Affinity Heatexchanger

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Automatic Pump Purge
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Differential Pressure Control
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Epifolds
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter
        Throttle Valve Uptime Kit

        Cooling

        Digital Flow Meter

        E-Rack

        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Active Door Interlock
        Oxydation Kit
        Epicat

      • 3x2" FT

        3x2" FT (Lab System)

        Reactor

        6x2" FT Lab System
        Tungsten Heater (1300°C)
        Pyrometer 4 Ports
        Affinity Heatexchanger

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Automatic Pump Purge
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Differential Pressure Control
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        N2/H2 MO Selection
        Water Cooled Bathes
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter
        Throttle Valve Uptime Kit

        Cooling

        Digital Flow Meter

        E-Rack

        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Active Door Interlock
        Oxydation Kit
        Duo Epicat

      • 6x2" FT

        6x2" FT (Lab System)

        Reactor

        Tungsten Heater (1300°C)
        Pyrometer 4 Ports
        Affinity Heatexchanger

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Automatic Pump Purge
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Differential Pressure Control
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        N2/H2 MO Selection
        Water Cooled Bathes
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter
        Throttle Valve Uptime Kit

        Cooling

        Digital Flow Meter

        E-Rack

        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Active Door Interlock
        Oxydation Kit
        Duo Epicat

      • 19x2" IC

        19x2" IC

        Reactor

        AIXTRON Reactor
        Tungsten Heater (1300°C)

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Differential Pressure Control
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        Water Cooled Bathes
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage Filter

        E-Rack

        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

        Miscellaneous

        Duo Epicat

      • 30x2"/31x2"/37x2" CRIUS I

        30x2" IC

        Reactor

        AIXTRON Reactor
        Tungsten Heater (1300°C)

        Glovebox

        TS50 Vacuum Cleaner
        Vacuum Tweezer
        N2 Spray Gun
        Moisture/Oxygen Sensor for GB
        Temperature Measurement of GB

        GMS

        Hygrometers GMS
        Differential Pressure Control
        Epison 4
        Automatic Bubbler Change
        Sources MO-Vac High Pressure Purge
        Water Cooled Bathes
        Purifiers

        Vaccum System

        Hygrometer Exhaust
        Isolation Valves (2nd) Stage filter

        E-Rack

        Computer

        In-situ

        EpiTT
        EpiTwinTT
        Interferometer

      • CRIUS II

        CRIUS II

        55x2"

      • CRIUS II-L

        CRIUS II-L

        16x4"
        69x2"

  • Reinigungsanlagen

    • AIXTOX A1-Ste/90

      • AIXTOX Scrubber

        AIXTOX Scrubber

        Der AIXTOX Scrubber ist ein Gasreiniger, der giftige und umweltschädliche Gase absorbiert. Er beinhaltet ein ein- oder zweistufiges nasschemisches Reinigungssystem, das effizient und kostensparend arbeitet.

    • AIXTOX A2-Ste/90

      • In-situ Messgeräte

        In-situ Messgeräte

        In-situ Messtechniken spielen bei Epitaxieprozessen eine wichtige Rolle. Mit Hilfe von in situ-Messgeräten kann die Materialqualität während des Prozesses überwacht werden. Damit sind Kunden in der Lage, die Materialqualität zu steuern und somit zu verbessern und einen effizienteren, stabileren und kostengünstigeren Produktionsprozess zu erreichen.

      • Epison

        Epison

        Das Epison 4 ist ein in-line Gaskonzentrations- sensor, der die Konzentration einer Gasspezies in einem Trägergas mittels Schallgeschwindig- keitsmessung bestimmt. Dieses Prinzip wurde speziell zur Messung und Steuerung der Gaskonzentrationen metallorganischer Stoffe entwickelt. Das Epison ist in der Industrie bereits für den MOCVD-Prozess als Standard etabliert. Das Epison 4, die neueste Generation, misst präziser, ist kompakter und bedienerfreundlicher als seine Vorgänger.

        Das Gerät leistet einen beachtenswerten Beitrag zur Verbesserung der Produktivität einer MOCVD-Anlage. Dank dieses Gerätes können Anlagenbetreiber präzise den Austrag der metallorganischen Quellen überwachen.

        Epison® ist ein eingetragenes Warenzeichen.

      • ARGUS

        ARGUS

        Das Multikanal-2-Farben-In-situ-Messgerät ARGUS dient zur Oberflächen-Temperaturmessung und -analyse in Echtzeit und ist das einzige System, das in der Lage ist, ein Temperaturprofil der gesamten Suszeptoroberfläche abzubilden.

        Das Gerät misst die thermische Verteilung während des Kristallwachstums auf der gesamten Wachstumsoberfläche. Mit 2.880 Messpunkten pro Sekunde über der gesamten Suszeptoroberfläche ist ARGUS das leistungsfähigste Oberflächenmessgerät für Close Coupled Showerhead-Anlagen (CCS). Mittels exakt kalibrierter 2-Farben-Pyrometer-Module können die emissivitätskorrigierte Temperatur von Wafer oder Suszeptor gemessen sowie Anpassungen von Temperatur und Waferhomogenität während der Produktions-, Ausheiz- oder Einstellungsphase der Anlage vorgenommen werden.

        Mit ARGUS wird absolute Temperaturhomogenität des Substratträgers möglich, unabhängig welche Art Wafer sich auf der Suszeptoroberfläche befinden, auch bei unterschiedlichen Substrat-Typen und Test-Wafern. Darüber hinaus werden die thermischen Bedingungen in der CCS-Anlage unabhängig von der Wafergröße optimiert. Gerade beim Einsatz größerer Substrate, beispielsweise bei der Verwendung von 300mm großen Si-Wafern, überzeugen die Vorteile des Systems: Die homogene Temperaturverteilung über der Waferoberfläche ist entscheidend für eine optimale Kontrolle der Waferkrümmung.

    • AIXTOX A3-Ste/90

      • In-situ Messgeräte

        In-situ Messgeräte

        In-situ Messtechniken spielen bei Epitaxieprozessen eine wichtige Rolle. Mit Hilfe von in situ-Messgeräten kann die Materialqualität während des Prozesses überwacht werden. Damit sind Kunden in der Lage, die Materialqualität zu steuern und somit zu verbessern und einen effizienteren, stabileren und kostengünstigeren Produktionsprozess zu erreichen.

      • Epison

        Epison

        Das Epison 4 ist ein in-line Gaskonzentrations- sensor, der die Konzentration einer Gasspezies in einem Trägergas mittels Schallgeschwindig- keitsmessung bestimmt. Dieses Prinzip wurde speziell zur Messung und Steuerung der Gaskonzentrationen metallorganischer Stoffe entwickelt. Das Epison ist in der Industrie bereits für den MOCVD-Prozess als Standard etabliert. Das Epison 4, die neueste Generation, misst präziser, ist kompakter und bedienerfreundlicher als seine Vorgänger.

        Das Gerät leistet einen beachtenswerten Beitrag zur Verbesserung der Produktivität einer MOCVD-Anlage. Dank dieses Gerätes können Anlagenbetreiber präzise den Austrag der metallorganischen Quellen überwachen.

        Epison® ist ein eingetragenes Warenzeichen.

      • ARGUS

        ARGUS

        Das Multikanal-2-Farben-In-situ-Messgerät ARGUS dient zur Oberflächen-Temperaturmessung und -analyse in Echtzeit und ist das einzige System, das in der Lage ist, ein Temperaturprofil der gesamten Suszeptoroberfläche abzubilden.

        Das Gerät misst die thermische Verteilung während des Kristallwachstums auf der gesamten Wachstumsoberfläche. Mit 2.880 Messpunkten pro Sekunde über der gesamten Suszeptoroberfläche ist ARGUS das leistungsfähigste Oberflächenmessgerät für Close Coupled Showerhead-Anlagen (CCS). Mittels exakt kalibrierter 2-Farben-Pyrometer-Module können die emissivitätskorrigierte Temperatur von Wafer oder Suszeptor gemessen sowie Anpassungen von Temperatur und Waferhomogenität während der Produktions-, Ausheiz- oder Einstellungsphase der Anlage vorgenommen werden.

        Mit ARGUS wird absolute Temperaturhomogenität des Substratträgers möglich, unabhängig welche Art Wafer sich auf der Suszeptoroberfläche befinden, auch bei unterschiedlichen Substrat-Typen und Test-Wafern. Darüber hinaus werden die thermischen Bedingungen in der CCS-Anlage unabhängig von der Wafergröße optimiert. Gerade beim Einsatz größerer Substrate, beispielsweise bei der Verwendung von 300mm großen Si-Wafern, überzeugen die Vorteile des Systems: Die homogene Temperaturverteilung über der Waferoberfläche ist entscheidend für eine optimale Kontrolle der Waferkrümmung.

    • Episorb

      • Episorb II

        Episorb II

        Der Episorb II Dry Toxic Gas Scrubber ist ein Abgasreiniger, der giftige und umweltschädliche Gase aus dem MOCVD-Prozess entfernt. Säulen mit trockenem, absorbierendem Material nehmen für eine spätere Oxidation giftige Gase auf.

        Gasförmige Hydride wie Arsin und Phosphin und metallorganische Verbindungen sind die Stoffe, die typischerweise absorbiert werden. Gase wie Stickstoff, Wasserstoff und Helium werden vom Episorb II nicht aufgenommen. Für Standard III-V-Prozesse bietet AIXTRON den Episorb II Dry Toxic Gas Scrubber mit Aktivkohle als Reinigungsmedium an.

        Episorb® ist ein eingetragenes Warenzeichen.

In einem schnell wachsenden Marktumfeld befindet sich das Produkt- und Leistungsportfolio Ihres Unternehmens in einem stetigen Wandel. Aus diesem Grund stehen Ihnen unsere Experten für den individuellen Umbau Ihrer AIXTRON Anlagen mit maßgeschneiderten Lösungen zur Verfügung.

Durch ein Upgrade auf den nächsten Anlagetyp oder auf technisch neue Anforderungen erhalten Sie Investitionssicherheit. So können Sie flexibel auf neue Marktanforderungen reagieren und Unternehmensziele neu definieren.

Jede systemspezifische Upgrade-Information wird unter Vorbehalt gegeben und muss an die Anforderungen des Kunden angepasst werden.

Ein Kostenvoranschlag beinhaltet deshalb eine kostenlose Prüfung der technischen Realisierbarkeit.

Unsere eingetragenen Warenzeichen

AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level SolutionS®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, Gas Foil Rotation®, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, TriJet®