Organic Vapor Phase Deposition

Durchbruch-Technologie für die Herstellung von OLED

AIXTRON bietet eine revolutionäre Depositionstechnologie für die Abscheidung organischer Halbleitermaterialien zur Herstellung von Organischen Leuchtdioden (engl. Organic Light Emitting Diode - OLED) für die Anwendung in Flachbildschirmen und Beleuchtung sowie für weitere Halbleiterapplikationen  an: OVPD (engl. Organic Vapor Phase Deposition) ist eine innovative Technologie für die Dünnschichtabscheidung von so genannten organischen "kleinen Molekülen" (engl.: Small Molecules - SM) auf dem Prinzip des Gasphasentransports. 

In dem von Professor Stephen R. Forrest , Princeton University, USA entwickelten und patentierten Verfahren werden die organischen Materialien im Feinvakuum verdampft und mittels eines inerten Trägergases zum Substrat transportiert, wo sie abgeschieden werden. Diese Technologie hat gegenüber konventionellen Technologien (Aufdampfen im Hochvakuum; engl.: Vacuum Thermal Evaporation - VTE) wesentliche Vorteile in Bezug auf Prozesskontrolle, Reproduzierbarkeit und Betriebskosten.

Die amerikanische Firma Universal Display Corp. (UDC) besitzt die Nutzungsrechte an den OVPD Patenten und hat diese 1999 exklusiv an AIXTRON zur Entwicklung, Herstellung und zum Vertrieb von OVPD Anlagen lizenziert.

Mit Unterstützung von UDC hat AIXTRON OVPD Produktionsanlagen mit Fokus auf die Anforderungen für OLED Technologien entwickelt. Hierzu hat AIXTRON OVPD mit der geschützten Close Coupled Showerhead (CCS) Technologie kombiniert, die bereits in anderen AIXTRON Depositionsanlagen (MOCVD, Tricent) erfolgreich zur Serienfertigung von Halbleiterbauelementen verwendet wird.

Auf Basis von über 20 Jahren Erfahrung in der Entwicklung und Herstellung von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie zur Abscheidung von dünnen Schichten aus der Gasphase wurde so eine hocheffiziente Technologie für die Abscheidung organischer Materialien entwickelt. Ein hochklassiges Entwicklungsteam gewährleistet die stetige Umsetzung der Marktanforderungen und ermöglicht uns, die führende Rolle in diesen anspruchsvollen Technologien zu halten. Im Rahmen von Kooperationen ergänzen renommierte Partner unsere Expertise bezüglich der Produktionsanforderungen und stärken unsere technologische Führungsposition.

AIXTRON bietet OVPD-Anlagen sowohl für die Serienfertigung als auch für die Pilotfertigung und F&E an.

Vorteile der OVPD-Technologie

Die Begriffe OVPD^® und Tricent^® sind eingetragene Warenzeichen.