Aachen, 9. Februar 2010 – Die University of California, Santa Barbara (UCSB), USA, wird ihre Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten mit einer 6-Zoll Black Magic-Anlage von AIXTRON erweitern. Die im dritten Quartal 2009 bestellte Anlage wird im ersten Quartal 2010 ausgeliefert.

Mit dem kombinierten System können sowohl thermische wie plasmagestützte CVD*-Prozesse durchgeführt werden. Der Leiter der  Forschungsabteilung am kalifornischen Nanoelectronics Research Lab, Professor Kaustav Banerjee, wird die neue Anlage für das Wachstum von Kohlenstoffkristallen und -nanoröhren (CNTs**) einsetzen.

Die AIXTRON PECVD***-Anlage wird vor allem wegen ihrer schnellen Aufheizphase und der seit 2005 in der Praxis bewährten Plasmatechnologie weltweit von Kunden für die Abscheidung unterschiedlichster CNT-Strukturen – beispielsweise für Niedertemperatur-, Multi- / Singlewall- und sogenannte "Supergrowth“-Kohlenstoffnanoröhren – genutzt.

Das Nanoelectronics Research Lab der UCSB, ein Forschungslabor auf Weltklasseniveau, forscht  auf dem Gebiet der CMOS****-Nanostrukturen. Einen Namen hat sich das Team auch bei der Weiterentwicklung zukunftsfähiger elektronischer, energiesparender und -speichernder Anwendungen gemacht, insbesondere bei der Prozessmodellierung, dem Design und der Herstellung von Nanomaterialien wie Kohlenstoffnanoröhren, -kristalle und Nanodrähte.

*CVD, Chemical Vapor Deposition =
chemische Gasphasenabscheidung
**CNT, Carbon Nanotubes =
Kohlenstoffnanoröhren
***PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition =
plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung
****CMOS, Complementary Metal Oxide Semiconductor =
komplementärer Metall-Oxid-Halbleiter

Weitere Informationen über das Nanoelectronics Research Lab an der UC Santa Barbara finden Sie hier: http://nrl.ece.ucsb.edu/

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