Die AIXTRON-Chronik

• 1983 // Gründung des Unternehmens durch Mitarbeiter des Instituts für Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfälischen-Technischen Hochschule (RWTH) Aachen – der Name AIXTRON setzt sich aus der französischen Bezeichnung für Aachen „Aix-la-Chapelle“ und „Elektronik“ zusammen.
• 1985 // Inbetriebnahme der ersten AIXTRON MOCVD-Anlage.
• 1988 // Auszeichnung mit dem „Innovationspreis der deutschen Wirtschaft“.
• 1989 // Exklusive Lizenz von Philips für die Planetary Reactor-Technologie.
• 1990 // Auslieferung der ersten MOCVD-Multi-Wafer-Anlage.
• 1994 // Erste Depositionsanlage zur Herstellung von blauen LEDs.
• 1997 // Börsengang: Die Aktien werden erstmals an der Frankfurter Wertpapierbörse (TecDAX^®) gehandelt.
• 1999 // Übernahme der Thomas Swan Scientific Equipment Division, heute AIXTRON Ltd., und damit des gesamten MOCVD-Anlagen- und Servicegeschäfts des Unternehmens, basierend auf der Close Coupled Showerhead-Technologie.
• 1999 // Übernahme der schwedischen EPIGRESS AB, heute AIXTRON AB, und Erweiterung des Portfolios um die SiC CVD-Technologie.
• 2005 // Erwerb der Genus, Inc. (USA) im März und damit Integration einer weiteren Abscheidungstechnologie (ALD) für die Silizium- und die Datenspeicherindustrie in das Portfolio. Heute AIXTRON Inc. in Sunnyvale/CA.
• 2007 // Übernahme der Nanoinstruments Ltd. (UK) und Erweiterung des Produktportfolios im Bereich Nanotechnologie (PE)CVD, integriert in die AIXTRON Ltd., UK.
• 2010 // Inbetriebnahme des hochmodernen F&E-Zentrums mit 16.000 m² Nutzfläche in Herzogenrath.
• 2010 // Die neuesten Anlagengenerationen G5 und CRIUS II werden auf den Markt gebracht.
• 2011 // Auslieferung der 2.000sten AIXTRON MOCVD-Anlage an Changelight Co., Ltd. 
• 2011 // AIXTRON bietet mit der CRIUS II-XL die Produktionsanlage mit der größten Waferkapazität an.
• 2012 // Im März Eröffnung des Training Center & Lab in Suzhou, China.
• 2013 // Der AIX G5+-Planetenreaktor für GaN-auf-Si wird mit dem CS Industry Award und dem Aurora Award ausgezeichnet.
• 2013 // 30 Jahre Zukunftstechnologie: AIXTRON feiert 30-jähriges Jubiläum.
• 2014 // AIXTRON führt die neue Showerhead-Anlage AIX R6 zur Massenproduktion von LEDs ein  
• 2017 // Verkauf der ALD/CVD-Produktlinie für Speicherchips
• 2017 // Gewinn des Energy Efficiency Awards der Deutschen Energie Agentur (dena)
• 2017 // AIXTRON fokussiert Produktportfolio
• 2018 // AIXTRON verzeichnet starke Nachfrage nach Anlagen zur Herstellung von Lasern für 3D Sensing in Smartphones
• 2019 // AIXTRON stellt seinen Strombezug vollständig auf regenerative Energien um
• 2019 // AIXTRON wird klimaneutrales Unternehmen